小型等離子清洗機的設計原理

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發表時間：2024-09-18

等離子清洗機可以實現對材料表面的清潔、活化、改性等處理，比如去除表面的污染物和有機物，在材料表面引入含氧極性基團以增加親水性等。

小型等離子清洗機的設計原理

小型等離子清洗機是一種尺寸相對較小、適用于小規模處理或實驗室環境的等離子清洗設備。小型等離子清洗機如圖1-1所示,設備的主要結構由反應腔(又稱真空腔)、真空系統、流量控制系統、真空測量系統、電源系統和控制系統組成。

小型等離子清洗機有很多種結構型式,根據電極在放電室的位置區分,可分為外電極和內電極;根據射頻電源的耦合方式區分,可分為電容耦合和電感耦合,如圖2-2所示。

圖2-2 射頻放電裝置示意圖

(a) 電容耦合; (b) 電感耦合

小型等離子清洗機各部分設計原理

反應腔由真空室、高頻電極組成,是容納待處理樣品的場所,依不同的型號腔體有圓形和方形兩種;

真空系統負責將反應腔內的空氣抽凈并在工作時維持適當的真空度;

流量控制系統負責調節工作期間所需要的真空度以及通入清洗的工藝氣體;

真空測量系統用于檢測背底真空度和工作真空度的數值;

電源系統為反應腔提供高頻信號和能量,以激發反應腔內的反應氣體電離形成所需要的等離子體。

控制系統的作用是按照最優的工藝參數和步驟控制設備的動作過程,并維持工藝參數的穩定。小型等離子清洗機的處理功率一般可以在50~300W之間調節。