設備類型 | 真空等離子清洗機 | 大氣等離子清洗機 |
外觀 | 等離子體在真空腔體內產生,需要使用真空泵維持特定真空度 | 等離子體產生后噴出,直徑與筆相當;可排成陣列或以馬達帶動旋轉 |
生產方式 | 批次式,亦可做成連續式 但成本大幅提高 | 連續式,通常與滑臺或機械手臂搭配使用 |
使用氣體 | 任何氣體都可以 | N2、O2、air 為主,可混入其他氣體,但需 注意廢氣處理問題 |
氣體用量 | <1L/min | 約 10-30L/min |
等離子體有效范圍 | 等離子體由電極產生,充滿整個腔體 | 等離子體在電極間產生后被氣流帶出,有效范圍 2~80mm |
靜電問題 | 沒有靜電損傷問題 | 噴嘴經特殊設計后沒有靜電擊傷問題 |
適合材料 | 無限制 | 無限制 |
工件尺寸 | 中小尺寸, 尺寸愈大,真空腔體就愈 大,設備造價將大幅提高 | 無限制 |
時效性 | 與常壓相比時效性較長 | 較真空時效短 |